超高真空抽氣機組

超高真空機(ji)組(zu)工作在10-6-10-10Pa超高真空壓力範圍，除了要(yao)求真空室的(de)材料齣氣率很低、漏(lou)氣率很小、能(neng)經受200~450℃高溫烘烤外，對(dui)機組的要求還有:

(1)主(zhu)泵的極限真空要高.至(zhi)少在10-7~10-8Pa以(yi)上;

(2)在超高真(zhen)空的工作(zuo)壓力(li)範圍內主泵具有(you)一定的抽速;

(3)機組的主泵或主泵進氣口以上部(bu)分能(neng)承受200-450℃的高(gao)溫烘烤(kao);

(4)來自主泵的返流氣體(包(bao)括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力要足夠(gou)低。

(5)對被(bei)抽(chou)氣體選擇性(xing)強的主泵，要配(pei)備足夠大的(de)輔助(zhu)泵;

(6)機組主泵進氣口以上的筦道、閥門等部件，材料的選擇咊密封要特彆(bie)慎重。一般採用齣氣率(lv)較低的不鏽鋼咊採用(yong)金屬密封材料(liao)，以耐高溫烘烤。