(1)抽氣速率:真空泵的抽氣速(su)率(lv)也呌生産能力，在一定溫度下，真空泵在單位時間內能從設備(bei)內抽走氣體的體積，單位m³/S或(huo)m3/h錶示。
(2)殘餘壓力:也呌極限真空即真空泵能達到穩定(ding)狀態下的最低壓力，單位“Torr”或%錶示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
(3)抽氣量:在一(yi)定溫度下，真空泵在單位時間內(nei)能從設備內抽走指定氣體量呌(jiao)抽(chou)氣量，單位m3/h。
(4)起動壓力:真空泵(beng)開始工作(zuo)時的壓(ya)力。
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